Mikroelektromekaniske systemer

Mikroelektromekaniske systemer (MEMS), på norsk også mikrosystemteknologi, er mikroskopiske systemer som har både elektriske og mekaniske funksjoner. MEMS kan betraktes som en utvidelse av mikroelektronikk, som i dag finnes i nærmest alle elektriske apparater.

En midd avbildet sammen med mikrotannhjul. Bildereferanse: Sandia National Laboratories, www.mems.sandia.gov

I mikroelektromagnetiske systemer kombineres mikroelektroniske elementer med mikroskopiske mekaniske elementer som tynne bjelker (eng. cantilevers), mikroskopiske tannhjul, kanyler med mer. MEMS kan også inneholde mikroskopiske kanaler til håndtering av væsker, som f.eks. blod eller kjemikalier.

Norske bedrifter/forskningsinstitutter som arbeider med MEMS

• Sensonor
• Norspace
• OSI Optoelectronics
• Høgskolen i Vestfold
• SINTEF MiNaLab