IBM RS64 er en familie med 64-biter mikroprosessorer som ble introdusert i 1994, og brukt i IBM's RS/6000 og AS/400 servere. De inneholder et supersett av instruksjonssettet i PowerPC, med tilleggsinstruksjoner som er hentet hovedsakelig fra POWER2 og den originale AS/400-prosessoren.

IBM RS64 ble faset ut etter introduksjonen av POWER4, som ble utviklet for å forene familiene RS64 og IBM POWER.