CacheFS er navnet på flere lignende programvareteknologier som øker hastigheten på distribuerte filsystemers filaksess i nettverksdatamaskiner. Disse teknologiene lagrer i en Web cache kopier av filene til et sekundært minne, typisk et lokalt platelager, slik at hvis filen blir aksessert på ny, kan det gjøres lokalt i en mye høyere hastighet enn nettverk vanligvis tillater.

CacheFS er brukt på flere avarter av Unix, og den opprinnelige Unix-versjonen ble utviklet av Sun Microsystems i 1993. En annen versjon for Linux ble lansert i 2003.